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氦質譜檢漏儀是采用質譜學原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無損檢漏設備,憑借氦氣大氣含量低、質荷比特征鮮明的優勢,實現超高靈敏度檢漏,可精準定位并定量漏點。設備支持真空噴氦、吸槍掃描、背壓累積等多種檢漏模式,適配真空 / 帶壓容器、密封組件、精密器件等不同檢測需求,廣泛應用于航天航空、半導體、汽車、電子醫療等領域,是高端制造與精密工業中密封檢測的核心設備。
◎ 標準臺式機箱,外形美觀實用
◎ 檢測量程寬,橫跨10個量級
◎ 檢漏口耐壓高,大漏小漏都可檢
◎ 全液晶觸摸彩屏,操作方便
◎ 檢漏狀態一鍵清零
◎ 中英文菜單界面
◎ 檢測值可存儲
◎ 整機達到國際先進水平
1. 最小可檢漏率:3×10-13Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍:1×10-2—1×10-13Pa·m3/s
3. 啟動時間:≤2min
4. 響應時間:≤0.5s
5. 檢漏口的最高壓力:2000Pa
6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7. 機械泵抽速:0.5L/s
8. 極限真空:5×10-4Pa
9. 工作環境:0-45℃
10. 相對濕度:≤80%
11. 外形尺寸:560(W)×420(D)×320(H)重量:42kg
| 序號 | 配置 | 型號 | 備注 |
| 1 | 普發檢漏儀專用分子泵 | Splitflow80 | 產地:德國 |
| 2 | 機械泵 | GHD-031B | 產地:日本 |
| 3 | AD放大器 | AD-549 | 產地:美國 |
| 4 | 皮拉尼真空計 | TTR91RN | 產地:德國 |
| 5 | 觸摸屏 | DOP-107BV | 臺灣臺達 |
| 6 | 標準漏孔 | DT-8 | 合肥迪泰 |
| 7 | 質譜室 | ZX-220 | 合肥迪泰 專利產品 |
| 8 | 離子源 | Zaxis-810/Zaxis-820 | 燈絲為銥絲(外涂氧化釔)/燈絲為銥絲(外涂氧化釔)雙燈絲 |
| 9 | 寶德電磁閥 | 0256 | 產地:德國 |
| 序號 | 產品名稱 | 型號 | 數量 |
| 1 | 氦質譜檢漏儀 | HLD3 | 1臺 |
| 2 | 波紋管 | KF25,1.5米 | 1根 |
| 3 | 氣袋 | 40L | 1只 |
| 4 | 噴槍 | NPN-989 | 1把 |
| 5 | 卡箍 | KF25,含密封圈支撐環 | 2只 |
| 6 | 保險絲 | 15A | 2只 |
| 7 | 合格證 | HLD3 | 1份 |
| 8 | 電源線 | 1.8米 | 1根 |
| 9 | 分子泵說明書 | SplitFlow 80 | 1份 |
| 10 | 機械泵說明書 | GHD-031B | 1份 |
| 11 | 檢漏儀說明書 | HLD系列 | 1份 |
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